





真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,手套箱厂家,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,手套箱,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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锂电池及超级电容研发及生产手套箱
密封性好,密封寿命长
水氧保护装置,确保水氧检测准确、寿命长
水氧检测技术
密封寿命超过十年
泄漏率低(<0.001%/h),每日自动检测
气体吸附量大(O2:45-60L)
水氧含量准确可靠,探头失效报警
再生周期长(超过一年)
故障率低
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手套箱功能原理
手套箱箱体内的工作气体在箱体与净化柱(水氧吸附器)之间,在PLC的控制和监视下,手套箱厂家,通过管道、循环风机等进行密闭循环。工作气体循环经过净化柱时其所含水分和氧气被吸附掉,然后再返回箱体内,随着循环时间的推移,箱体内工作气体中的水氧含量逐步减少,终达到小于1ppm的指标。净化柱在一定时间的循环后会吸附饱和,可进行再生,重复使用。
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